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羅茨真空泵原理

2021-03-25

羅茨真空泵由于輸送和壓縮氣體而產(chǎn)生熱量,這些熱量必須從轉(zhuǎn)子傳至殼體而散發(fā)。但在低壓下,氣體對(duì)熱的傳導(dǎo)和對(duì)流性能極差,致使轉(zhuǎn)子吸收的熱量不易散出,造成轉(zhuǎn)子溫度永遠(yuǎn)高于殼體的溫度。


由于轉(zhuǎn)子的熱膨脹,使轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間的間隙減少,特別在壓差也高的情況下,尤為嚴(yán)重,甚至造成轉(zhuǎn)子卡死,使泵損壞。為了使羅茨泵在較高的壓差下工作,以擴(kuò)大使用范圍,增加泵的可靠性,就必須設(shè)法散出轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的熱量,也就是說要對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。



為了理解空氣冷卻的實(shí)質(zhì),先來看一下氣體在羅茨真空泵排氣一側(cè)的流動(dòng)情況,在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過程不是連續(xù)的,而是突然的。吸入氣體隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)而被封閉于腔內(nèi),又隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),使腔內(nèi)的氣體突然與排氣口接通。


由于排氣一側(cè)的氣體壓力較高,排氣口處的氣體就向腔中返沖,然后又隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而被驅(qū)趕排出泵外。這樣的過程在每旋轉(zhuǎn)一周中兩個(gè)轉(zhuǎn)子共進(jìn)行四次排氣過程。


從上述氣體的流動(dòng)情況可以設(shè)想:假若每次返沖到泵腔中的氣體是冷的,則可以在高溫的泵腔內(nèi)吸收大量的熱量,這些吸收了熱量的氣體又在轉(zhuǎn)子的繼續(xù)壓縮中排出,從而會(huì)達(dá)到轉(zhuǎn)子冷卻的目的。


空氣冷卻就是運(yùn)用上述原理。在泵的排氣口處設(shè)置密集的冷卻片,冷卻片用冷水管進(jìn)行冷卻,或在泵的排氣口處直接安裝冷卻水管,這樣排氣口處的氣體就會(huì)降溫,這種冷卻方法能有效地散出羅茨泵轉(zhuǎn)子在壓縮氣體中所產(chǎn)生的執(zhí)量。而且當(dāng)排氣壓力較高時(shí),因氣體分子的密度大,使熱傳導(dǎo)性能更好,其冷卻效果也好些。


使用這種方法能保證泵在較高的壓差下作,實(shí)驗(yàn)證明,一臺(tái)羅茨泵在30Torr壓差下運(yùn)轉(zhuǎn)6h,其轉(zhuǎn)子在外殼的溫度差為22度,當(dāng)在排氣口處安裝冷卻器后,在85Torr壓差下長(zhǎng)其運(yùn)轉(zhuǎn),其溫差也不超過17度。一般說來,羅茨真空泵采用空氣冷卻之后,可將壓差提高80Torr,而不加冷卻器一般只能達(dá)到15~30Torr。


這種冷卻方法與環(huán)境溫度有關(guān)系,環(huán)境溫度高吸入的氣體溫度就高。則冷卻效果就不好。此外,這種方法只能避免高壓差產(chǎn)生的高熱,而不能防止泵壓縮過程中發(fā)熱,而引起間隙變小的問題,所以受泵本身間隙的限制。


2、轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻


為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作,可采取更有效的冷卻方法,即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻,在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入,經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再?gòu)牧硪欢伺懦觥@鋮s油除冷卻轉(zhuǎn)子外,還潤(rùn)滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好,泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度,大泵常采用這種方式。


例如在80Torr壓差下工作時(shí),羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度,同時(shí)還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時(shí),則間隙越大,這是因?yàn)檗D(zhuǎn)子用油冷卻,溫度比殼體低,負(fù)荷越大,殼體膨脹越厲害,軸間距加大,所以間隙會(huì)增大。


由于負(fù)荷大,轉(zhuǎn)子和殼體溫差不斷增高,使間隙不斷增大,這會(huì)使首逆流增大,引起羅茨真空泵抽速下降。為了克服這個(gè)缺點(diǎn),羅茨泵在高負(fù)荷下工作時(shí),需要采用有效措施,一般是將羅茨真空泵的外殼和轉(zhuǎn)子同時(shí)采用油循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行冷卻。


3、轉(zhuǎn)子的油膜冷卻


這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個(gè)輸油管,用均勻滴下的冷卻油帶走轉(zhuǎn)子的熱量。油經(jīng)過濾器器、冷卻器,通過密封良好的油泵,再經(jīng)過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉(zhuǎn)子上之后,隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而均面在轉(zhuǎn)了子的表面上。


這不僅將轉(zhuǎn)子的熱量帶走,同時(shí)在兩個(gè)轉(zhuǎn)子表面上形成油膜,防止氣體的逆流,而且還能將轉(zhuǎn)子表面上依附的微細(xì)塵埃帶走。在泵的出口處設(shè)有油槽,收集廢油,經(jīng)過過濾,冷卻后重新循環(huán)使用。


此種方法效果良好。但由于泵內(nèi)有油,失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點(diǎn)。再則油具有一定的粘度,對(duì)高速旋轉(zhuǎn)的羅茨泵轉(zhuǎn)子增加了不少的摩擦力,當(dāng)然使泵的功率消耗增加。所使用的油,要求飽和蒸汽壓應(yīng)盡量代。


4、水冷卻


所謂濕式羅茨真空泵,即是由間級(jí)或雙級(jí)泵吸入的空氣經(jīng)壓縮后,通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。將微量的水注入泵內(nèi),便能消除因壓縮空氣而產(chǎn)生的熱量。吸入水管裝在單級(jí)或雙級(jí)泵組的吸氣端并連接到真空泵的進(jìn)氣口上。


水是靠真空泵產(chǎn)生的真空度而吸入,真空度越大,吸入水量就越高。用一只簡(jiǎn)單的調(diào)節(jié)閥門便能保證好的吸入量,吸入水的溫度應(yīng)保持在20度左右,要清潔,無鈣質(zhì)。


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